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长江存储迎来首台光刻机 用于生产14nm晶圆

天极网硬件频道 2018. 05. 20 作者:无名氏 责编:王跃锐
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  【天极网DIY硬件频道】中芯国际花1.2亿美元,从荷兰ASML买到国内第一台EUV极紫外光刻机的消息振奋人心,极紫外光刻机对于于7nm制程工艺芯片的生产来说至关重要,三星在去年就购买了10台的极紫外光刻机。

  除了中芯国际购买到EUV光科技之外,最新报道称国内的晶圆厂商长江存储迎来了第一台光刻机,价格为7200万美元(约合4.6亿人民币),为国产固态硬盘制造提供了极大帮助。

  长江存储购买到的光刻机同样来自荷兰ASML公司,采用波长为193nm的深紫外光,采用沉浸式设计,可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆。目前,该机已经运抵武汉天河机场,相关入境手续办理完毕后,即可运至长江存储的工厂。后续,长江存储还会引入更多光刻机。

  2016年底,世界级的国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设,2017年9月底提前封顶,2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

  目前,长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产,不少产业链企业都拿到了样片测试,预计今年第四季度量产。同时,长江存储还在推进64层堆叠3D闪存,力争2019年底实现规模量产,与世界领先水平差距缩短到2年之内。

作者:无名氏责任编辑:王跃锐)
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